六甲基二硅氮烷（Hexamethyldisilazane, HMDS），CAS号：999-97-3，化学式：C6H19NSi2，分子量：161.39，熔点：-78 °C，沸点：125 °C (lit)，折射率 n20/D：1.40，可与多种有机溶剂混溶。

用途：

• 工业上用于生产橡胶、药物；
• 作为气相色谱载体表面吸附活性的减尾剂；
• 矿业中用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理（通过Si–N键与硅羟基缩合）；
• 半导体工业中用作光致刻蚀剂的粘结助剂；
• 在有机硅氮烷化学中，用于与氯硅烷单体进行氯交换，合成聚硅氮烷（相比直接通氨法具显著优势）。